クリーンルームの構築は非常に複雑なプロジェクトです。クリーンルームを構築するには、非常に専門的なチームだけでなく、クリーンルームを理解するための専門知識も必要です。クリーンルームを理解するには、クリーンルームから始めることができます。クリーンルームをより完全かつ包括的に理解できるように、専門用語から始めます。クリーンルームにおける専門用語の意味を説明しましょう。
1、クリーンルームおよび関連する制御された環境
クリーンルームとそれに関連する、補助的な、関連する開いたまたは閉じた内部または周辺スペース、およびスペース内の浮遊粒子濃度などのパラメータも、関連する規格によって制御されます。
2、一方向フロークリーンルーム
部屋の作業領域の断面全体のクリーンルームを通過する一方向の流れ、平行な流線、および均一で安定した速度の流れ。
3、非一方向フロークリーンルーム
は、流線が平行でなく、方向が単一ではなく、速度が不均一で、交差回転を伴う乱気流が部屋の作業領域の断面全体を流れるクリーンルームを指します。乱流クリーンルームとも呼ばれます。
4、混合フロークリーンルーム
一方向の流れと非一方向の流れの2種類のクリーンルームがあります。
5、小屋の清掃
クリーンワークシェッドは、地域の高度にクリーンな環境を提供できる空気浄化装置です。それは主にキャビネット、ファン、プライマリエアフィルター、減衰層、ランプなどで構成され、シェルにはプラスチックがスプレーされます。コンパクトな構造で使いやすく、地面に吊るして支えることができます。単独または複数の接続で使用して、帯状のクリーンエリアを形成できます。
6、エアロゾル
空気中に浮遊、固体または液体、活性物質または不活性物質、粒子サイズは10nm〜100μmの範囲です。
7、バイオエアロゾル
空気中に浮遊する小さな固体または液体の粒子の分散システム。
8、プランクトン
空気中に浮遊する細菌粒子。
9、バクテリアの沈降
表面に付着する細菌粒子_。
10、エアゾールをテストする
気体状態で懸濁した固体または液体の粒子は、既知の制御された粒子サイズ分布と濃度を持っています。
11、漏れ
エアフィルターシステムの完全性の欠如または欠陥によって引き起こされる汚染物質の汚染により、透過する汚染物質は風下濃度の予測値を超えます。
12、リーク検出
フィルターとユニットコンポーネントをリークさせる方法を見つけます。つまり、エアロゾル光度計または光学粒子カウンターを使用して、スキャン領域が重複しているテスト領域をスキャンします。
13、超クリーンワークベンチ
ウルトラクリーンワークベンチは、現代の産業、オプトエレクトロニクス産業、バイオ医薬品、科学研究、実験の分野における現地の作業領域の清浄度要件を満たすように設計されています。ファンを介してプレフィルターに空気を吸い込み、静圧ボックスを介して高効率フィルターに入り、濾過し、縦または横の気流の状態で濾過空気を送り、作業範囲が100レベルの清浄度に達し、環境のクリーン化を実現します。請求。
14、静的
すべてが完成し、完全な設備が整っています。浄化空調システムは正常に動作しており、現場に人員はいません。このとき、生産設備が設置されており、クリーンルームが稼働していない、または生産設備が停止しており、一定時間経過後にセルフクリーニングがクリーンルーム状態になった、またはビルダー(ユーザー)とビルダーが合意した方法でクリーンルームが稼働している。状態。クリーンルームの3つの占有状態(空、静的、動的)の1つです。
15、高純度ガス
ガス成分の純度が99.9995%以上で、水分が5ppm未満のガス。
16、精製水
は、25°Cの温度で抵抗率が0.1×10 ^6Ω・cmを超える水を指します。
17、高純度水
は、温度が25℃の場合、抵抗率が0.1×10 ^6Ω・cmを超え、水中で0.5μm以上のダスト粒子が300粒子/ ml未満、生きている微生物が9粒子/ ml未満であることを意味します。純水。
18、大きな(マクロ)粒子
同等の直径が5μmを超える粒子。
19、超微粒子
0.1μm未満の相当直径を持つ粒子。
20、永久ガス
空気、酸素、窒素、ヘリウム、メタン、酸化炭素など、臨界温度が-10℃未満のガス。
21、特殊ガス
単一ガスまたは混合ガスを含む、ガスの特定の用途を満たすため。電子ガスは115種類、有機ガスは63種類、無機ガスは35種類、ハロカーボンガスは29種類、同位体ガスは17種類の259種類の単一ガスがあります。
22、医療用ガス
医療規制の要件を満たし、医療の治療、診断、予防に使用されるガス。
23、クリーンガス
単位体積に含まれる粒子の量は、このガスのクリーンな環境で使用される一般的なガス以下です。
24、分子状汚染物質
酸性ガス、アルカリ性ガス、凝縮性有機物質、半導体用ドーパント、揮発性の高い有機物質や分子など、分子量レベルが空気中に含まれている汚染物質グレードメタル等
25、清潔さ
清浄度とは、空気環境の空気に含まれるほこりの程度を指します。
26、領域をきれいにする
空気浮遊粒子濃度が制御された限られた空間、その構築と使用により、空間への粒子の導入と生成、粒子の滞留、要件に応じた温度、湿度、圧力など、空間内の他の関連パラメータを減らす必要があります制御のために、クリーンエリアは開いていても閉じていてもかまいません。